ZYGO 3D光學輪廓儀維護與故障排除

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學輪廓儀維護與故障排除
通過定期維護與快速故障排查，可延長 ZeGage Pro 使用壽命），保障 3D 形貌測量的精度與穩(wěn)定性，減少設(shè)備停機時間。

產(chǎn)品型號：ZeGage Pro

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：66

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激光干涉儀

ZYGO光學輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO 3D光學輪廓儀維護與故障排除

一、核心部件維護要點

（一）光學系統(tǒng)維護

物鏡組：每次使用后，用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑（型號 ZGP-CL01）輕輕擦拭鏡片表面，去除指紋與灰塵；每使用 30 次，用壓縮氣吹（壓力≤0.3MPa）清潔物鏡接口縫隙，避免灰塵堆積影響光路。若物鏡出現(xiàn)劃痕或鍍膜脫落，需更換對應(yīng)倍率物鏡（如 50X 物鏡型號 ZGP-OBJ50），不可繼續(xù)使用以防測量偏差。

光源組件：每季度檢查 LED 光源亮度（軟件 “光源檢測" 功能），若亮度衰減超 20%，需更換光源模塊（型號 ZGP-LS01）；光源散熱鰭片每 2 個月用無塵布清潔，避免灰塵堵塞影響散熱，導致光源壽命縮短。

干涉儀模塊：每半年由專業(yè)人員拆解檢查棱鏡與分光膜，若發(fā)現(xiàn)棱鏡表面污漬，用無水乙醇蘸取鏡頭紙輕輕擦拭；分光膜若出現(xiàn)破損，需返廠維修，不可自行拆解以免損壞精密部件。

（二）樣品臺維護

手動樣品臺：導軌每 1 個月涂專用潤滑脂（型號 ZGP-GR01），涂抹量以覆蓋導軌表面薄薄一層為宜，避免過多導致灰塵吸附；移動旋鈕若出現(xiàn)卡頓，檢查導軌是否有雜質(zhì)，清潔后仍卡頓需調(diào)整旋鈕松緊螺絲（順時針調(diào)緊，逆時針調(diào)松）。

自動樣品臺（選配）：每月檢查電機連接線是否松動，若出現(xiàn)定位偏差（如預(yù)設(shè)坐標與實際位置偏差超 0.001mm），需在軟件 “樣品臺校準" 中用標準樣板重新校準；電機每使用 6 個月，由專業(yè)人員檢查內(nèi)部齒輪磨損情況，磨損嚴重需更換電機組件（型號 ZGP-MT01）。

（三）軟件與電路維護

軟件系統(tǒng)：每 3 個月從 ZYGO 下載最新版 MetroPro 軟件，更新前備份測量數(shù)據(jù)與自定義模板，避免數(shù)據(jù)丟失；若軟件頻繁閃退，檢查電腦系統(tǒng)是否兼容（需 Windows 10 及以上），或重裝軟件修復故障。

電路模塊：每年檢查設(shè)備電源線、數(shù)據(jù)線接口是否有氧化、破損，若有需更換對應(yīng)線纜（電源線型號 ZGP-PW01，USB 數(shù)據(jù)線型號 ZGP-USB01）；設(shè)備內(nèi)部電路板每半年由專業(yè)人員用壓縮氣吹清灰，避免灰塵導致短路。

二、常見故障與解決方法

（一）測量精度偏差故障

現(xiàn)象：測量標準樣板（如已知 Ra=0.02μm）時，實測值偏差超 0.005μm；

排查與解決：

檢查物鏡是否清潔，若有污漬按維護流程清潔；

確認樣品臺是否水平，用水平儀校準（氣泡需居中），若不水平調(diào)整底部腳墊高度；

軟件中重新執(zhí)行 “系統(tǒng)校準"（用原廠標準樣板），校準后重新測量，偏差通?？苫謴椭猎试S范圍。

（二）成像模糊故障

現(xiàn)象：掃描時實時成像模糊，無法清晰捕捉樣品細節(jié)；

排查與解決：

檢查光源亮度，若亮度不足更換光源模塊；

透明樣品需開啟 “偏振光 + 增強對比度" 功能，調(diào)整光源角度（軟件 “光源角度" 設(shè)置，0°-90° 可調(diào)）；

物鏡未安裝到位，順時針輕擰物鏡至貼合接口，確保光路同軸。

（三）軟件連接故障

現(xiàn)象：軟件無法識別設(shè)備，顯示 “連接失敗"；

排查與解決：

檢查 USB 數(shù)據(jù)線是否插緊，更換原廠數(shù)據(jù)線重試；

設(shè)備電源未開啟或供電異常，確認電源指示燈亮（綠色），若不亮檢查電源線與插座；

電腦設(shè)備管理器中查看 “ZeGage Pro" 驅(qū)動是否正常，若顯示黃色感嘆號，卸載后重裝最新驅(qū)動。

三、維護周期與安全規(guī)范

維護周期表：

日常：實驗后清潔物鏡、樣品臺；

每月：樣品臺導軌潤滑、光源亮度檢查；

每季度：干涉儀外部清潔、軟件更新；

每半年：電路模塊清灰、自動樣品臺校準；

每年：全面系統(tǒng)校準、線纜接口檢查。

安全規(guī)范：

維護前需關(guān)閉設(shè)備電源，拔下電源線，避免觸電；

清潔光學部件時禁止用普通紙巾、棉簽，防止劃傷鏡片；

更換光源、電機等部件時，需佩戴防靜電手環(huán)，避免靜電損壞電子元件。

通過定期維護與快速故障排查，可延長 ZeGage Pro 使用壽命（正常維護下約 5-8 年），保障 3D 形貌測量的精度與穩(wěn)定性，減少設(shè)備停機時間。

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