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產品簡介
ZYGO 3D光學輪廓儀精特殊樣品適配方案通過針對性適配方案，ZeGage Pro 可突破柔性、磁性、透明脆性樣品的測量限制，滿足更多非常規(guī)場景的 3D 形貌測量需求。
ZYGO 3D光學輪廓儀精特殊樣品適配方案
固定方式：選用真空吸附樣品臺（選配，型號 ZGP-ST01），吸附壓力設為 0.03-0.05MPa（根據薄膜厚度調整，薄膜用低壓力），使薄膜平整貼合臺面，避免褶皺；
光學調整：若薄膜透明，開啟軟件 “偏振光 + 增強對比度" 功能，調整光源亮度至 80%（常規(guī) 50%），提升表面紋理成像清晰度；
參數設置：選 20X 物鏡（平衡范圍與精度），掃描范圍 1mm×1mm，數據點密度 800 點 /mm2，掃描速度調慢至 0.5 秒 / 幀（減少氣流對薄膜的擾動）。
磁場屏蔽：在樣品臺與設備主體間加裝坡莫合金屏蔽板（厚度 2mm，型號 ZGP-SH01），削弱磁場對光學系統(tǒng)的影響；
樣品清潔：測量前用無磁毛刷清掃零件表面鐵屑，再用無水乙醇擦拭，避免雜質附著；
參數校準：更換磁性樣品后，用標準臺階樣板（非磁性材質，已知高度 0.5mm）重新校準，確保垂直測量誤≤0.01μm；
硬件選擇：選 5X 或 10X 物鏡（低倍物鏡金屬部件少，受磁場影響?。苊庥?50X 高倍物鏡（精密部件多，易受干擾）。
夾持方式：用硅膠材質柔性夾具（硬度 50 Shore A），夾持力控制在 5-10N（通過夾具調節(jié)螺絲微調），避免樣品受力碎裂；
光學優(yōu)化：在樣品底部墊黑色吸光襯墊（厚度 1mm，型號 ZGP-LN01），減少底面反射光干擾；軟件選擇 “透明樣品專用算法"，增強層間信號識別；
參數設置：選 50X 物鏡（測厚度）或 10X 物鏡（測平整度），掃描范圍 0.5-2mm×0.5-2mm，數據點密度 1000 點 /mm2，確保捕捉層間細節(jié)。
樣品預處理：無論何種特殊樣品，均需清潔表面（無油污、雜質），避免影響成像與數據；
分步測試：首測量特殊樣品時，先小范圍掃描（如 0.2mm×0.2mm），驗證參數與適配方案是否可行，再擴大掃描范圍；
數據對比：對同一特殊樣品重復測量 3 次，若數據偏≤0.01μm，說明適配方案穩(wěn)定，可批量測量。
ZYGO 3D光學輪廓儀精特殊樣品適配方案