Sensofar S neox：大樣品測量方案

產(chǎn)品簡介

Sensofar S neox：大樣品測量方案
這款型號的核心細(xì)節(jié)在于超大測量范圍，XY 軸行程達(dá) 600×600mm，搭配閉環(huán)龍門設(shè)計，無論樣品重量如何，都能保持穩(wěn)定表現(xiàn)。移動速度可達(dá)每秒一米，大幅縮短大面板的檢測耗時，尤其適合批量生產(chǎn)中的質(zhì)量控制。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-10-27

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三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar S neox：大樣品測量方案

Sensofar S neox：大樣品測量方案

針對半導(dǎo)體、顯示與PCB行業(yè)的大尺寸樣品測量需求，Sensofar推出S neox Grand Format型號，帶來兼顧范圍與效率的解決方案。

這款型號的核心細(xì)節(jié)在于超大測量范圍，XY 軸行程達(dá) 600×600mm，搭配閉環(huán)龍門設(shè)計，無論樣品重量如何，都能保持穩(wěn)定表現(xiàn)。移動速度可達(dá)每秒一米，大幅縮短大面板的檢測耗時，尤其適合批量生產(chǎn)中的質(zhì)量控制。

性能上，它延續(xù)了 “3-in-1" 技術(shù)優(yōu)勢，傳感器能根據(jù)樣品特性自動匹配優(yōu)測量技術(shù)，精度可達(dá)到亞納米級別。同時通過 SEMI S2、S8 等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并獲得 TüV 萊茵 land 認(rèn)證，在半導(dǎo)體表征場景中使用更有保障。

用材與防護設(shè)計貼合工業(yè)環(huán)境，傳感器符合 ISO 1 級潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，機身采用不銹鋼外殼，能減少顆粒排放，適配嚴(yán)格的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。內(nèi)部機械結(jié)構(gòu)延續(xù)精密設(shè)計，確保在大行程移動中仍保持測量穩(wěn)定性。

核心參數(shù)簡表

參數(shù)項	數(shù)值
XY 軸行程	600×600mm
移動速度	1m/s
潔凈室等級	ISO Class 1 兼容
行業(yè)認(rèn)證	SEMI S2、S8 等

在半導(dǎo)體行業(yè)，它可用于大尺寸晶圓表面檢測；顯示領(lǐng)域能測量面板的平整度與 pixel 結(jié)構(gòu)；PCB 生產(chǎn)中則適配多層線路板的輪廓分析。使用時需將設(shè)備置于防震平臺，根據(jù)樣品類型選擇技術(shù)模式，啟動后系統(tǒng)可自動完成大范圍掃描，生成的報告還能通過軟件自定義標(biāo)注關(guān)鍵數(shù)據(jù)。

### S neox：科研實驗室的多面手生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)工程等領(lǐng)域的科研工作，常需應(yīng)對不同特性的樣品，S neox憑借靈活設(shè)計成為實驗室實用工具。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)上，其模塊化設(shè)計支持功能擴展，可連接低溫樣品臺（-196℃至室溫）、加熱樣品臺（室溫至 300℃），模擬多樣環(huán)境條件下的測量?？蛇x配的熒光模塊，搭配高靈敏度 CMOS 探測器，能滿足生物樣品的熒光標(biāo)記觀察需求。軟件支持保存自定義工作流，如 “生物樣品預(yù)處理 - 共聚焦掃描 - 數(shù)據(jù)分析"，簡化重復(fù)實驗操作。

性能方面，多技術(shù)模式適配不同科研場景：生物醫(yī)學(xué)中，共聚焦模式可清晰觀察細(xì)胞在支架表面的黏附形態(tài)；材料科學(xué)里，干涉模式能測量金屬薄膜厚度，多焦面疊加模式可分析泡沫材料孔隙結(jié)構(gòu)。多次測量偏差小于 3%，為實驗數(shù)據(jù)提供穩(wěn)定支撐。針對易變形的生物軟組織，低接觸力模式能減少測量對樣品的破壞。

用材上，核心光學(xué)玻璃透光率＞95%，減少信號損失；內(nèi)部機械部件采用精密齒輪與滾珠絲杠，測量時振動幅度＜0.1μm，避免干擾精密樣品。外殼的防腐蝕工程塑料經(jīng)過啞光處理，降低光線反射影響。

關(guān)鍵參數(shù)簡表

參數(shù)項	數(shù)值
擴展模塊	溫控樣品臺、熒光模塊
縱向測量范圍	最大 37mm（多焦面模式）
振動幅度	＜0.1μm
數(shù)據(jù)重復(fù)性偏差	＜3%

型號涵蓋基礎(chǔ)版與進(jìn)階版，進(jìn)階版支持更多擴展模塊。在地質(zhì)研究中，可觀察巖石孔隙分布；光學(xué)工程里能檢測棱鏡角度偏差。使用前需根據(jù)實驗需求安裝模塊并校準(zhǔn)，樣品制備后固定在專用夾具上，選擇對應(yīng)技術(shù)模式即可啟動測量，軟件還能進(jìn)行多技術(shù)數(shù)據(jù)融合分析。 Sensofar S neox：大樣品測量方案

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