S neox作為Sensofar推出的新一代3D共聚焦白光干涉光學輪廓儀，通過共聚焦、白光干涉與多焦面疊加技術的協(xié)同工作，構建了多維度精密檢測體系。其核心光學模塊采用高純度熔融石英透鏡組，透光率超92%，配合氟化鎂與氧化硅復合增透膜，反射率控制在0.5%以下，有效抑制雜散光干擾。設備支持2.5x至100x物鏡的模塊化配置，垂直分辨率達0.1nm，橫向分辨率0.1μm，可適配從微米級到毫米級的檢測需求。機身采用高強度鋁合金框架與鑄鐵底座組合結構，抗振動性能優(yōu)異，適應實驗室與生產車間環(huán)境。配套SensoSCAN軟件提供實時3D渲染、多格式數據導出及ISO標準分析模塊，支持PV、Rq等參數自動計算并生成檢測報告。在半導體封裝檢測中，設備可同步獲取焊點高度、直徑與傾斜角，重復性誤≤0.3%，滿足5μm級金線虛焊缺陷識別需求；在光學元件制造中，白光干涉模式可精準測量透鏡曲率半徑與面型誤差，PV值檢測閾值可自定義設置，偏差區(qū)域自動標記并生成分析報告。設備還支持時間序列掃描功能，可追蹤細胞遷移軌跡或薄膜厚度動態(tài)變化，為生物醫(yī)學研究提供時間維度數據支持。
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