ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作軟件功能解析

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作軟件功能解析
過 MetroPro 軟件的功能適配，ZeGage Pro 實(shí)現(xiàn)了 “測量 - 分析 - 報(bào)告" 全流程閉環(huán)，簡化數(shù)據(jù)處理步驟，適配不同場景的檢測需求。

產(chǎn)品型號：ZeGage Pro

更新時(shí)間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：67

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作軟件功能解析

一、軟件概述與基礎(chǔ)界面

ZeGage Pro 配套的 MetroPro 軟件，支持 Windows 10 及以上系統(tǒng)，安裝后默認(rèn)進(jìn)入 “測量控制" 界面，布局分為四部分：頂部菜單欄（含文件、測量、分析等功能）、左側(cè)工具欄（快捷圖標(biāo)：新建測量、數(shù)據(jù)分析、報(bào)告導(dǎo)出）、中央顯示區(qū)（實(shí)時(shí)成像、3D 形貌圖）、右側(cè)參數(shù)面板（物鏡、掃描范圍、數(shù)據(jù)密度設(shè)置）。界面支持自定義，可隱藏暫時(shí)不用的面板，聚焦核心操作區(qū)域。

二、核心功能操作

（一）測量參數(shù)設(shè)置

硬件參數(shù)匹配：在 “測量設(shè)置" 中選擇當(dāng)前物鏡（5X/10X/20X/50X），軟件自動(dòng)加載對應(yīng)分辨率參數(shù)（如 50X 物鏡默認(rèn)水平分辨率 0.64μm）；若樣品為透明材質(zhì)，勾選 “增強(qiáng)對比度"，軟件自動(dòng)調(diào)整光源亮度與成像算法，減少反光干擾。

掃描參數(shù)調(diào)整：設(shè)置掃描范圍（最小 10μm×10μm，最大 100mm×100mm），數(shù)據(jù)點(diǎn)密度可選 300-1000 點(diǎn) /mm2（高精度需求選高密度，快速檢測選低密度）；勾選 “連續(xù)掃描"，可預(yù)設(shè) 3-5 個(gè)測量區(qū)域，設(shè)備自動(dòng)依次完成掃描。

（二）數(shù)據(jù)分析功能

基礎(chǔ)參數(shù)計(jì)算：掃描完成后，點(diǎn)擊 “分析"→“表面參數(shù)"，軟件自動(dòng)計(jì)算 Ra（算術(shù)平均粗糙度）、Rz（十點(diǎn)平均粗糙度）、PV（峰谷值）等參數(shù)，結(jié)果保留 3 位小數(shù)（如 Ra=0.025μm），可直接復(fù)制至表格。

專項(xiàng)分析模塊：

臺階高度測量：用鼠標(biāo)框選臺階區(qū)域，軟件自動(dòng)識別臺階上下表面，計(jì)算高度差（誤≤0.01μm）；

缺陷識別：開啟 “缺陷分析"，設(shè)置缺陷閾值（如劃痕深度≥0.1μm），軟件自動(dòng)標(biāo)紅缺陷區(qū)域，統(tǒng)計(jì)數(shù)量與尺寸；

曲率計(jì)算：光學(xué)鏡片檢測時(shí)，選擇 “曲率分析"，軟件擬合曲面，輸出曲率半徑與球面度數(shù)據(jù)（誤≤0.1%）。

（三）報(bào)告生成與數(shù)據(jù)導(dǎo)出

報(bào)告模板選擇：點(diǎn)擊 “報(bào)告"→“新建報(bào)告"，提供兩種模板：“基礎(chǔ)模板"（含樣品信息、測量參數(shù)、關(guān)鍵數(shù)據(jù)）、“詳細(xì)模板"（增加 3D 形貌圖、偏差分析），支持插入公司 LOGO（圖片格式為 JPG/PNG）。

數(shù)據(jù)導(dǎo)出格式：測量數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為 CSV（參數(shù)表格）、STL（3D 模型，用于后續(xù)建模）、TIFF（2D 灰度圖）；報(bào)告可導(dǎo)出為 PDF（避免格式錯(cuò)亂）或 Word（便于后續(xù)編輯），導(dǎo)出時(shí)可選擇是否包含原始數(shù)據(jù)附件。

三、軟件適配優(yōu)勢與注意事項(xiàng)

（一）適配優(yōu)勢