澤攸臺式掃描電鏡操作流程與規(guī)范指南

1. 檢查環(huán)境：實(shí)驗(yàn)室溫度應(yīng)控制在20±5℃，濕度≤70%，避免電磁干擾（遠(yuǎn)離大型電機(jī)）。

   
   

2. 開啟電源：先開外接穩(wěn)壓電源（輸出220V±10%），再啟動主機(jī)電源開關(guān)（位于機(jī)身背面）。等待30秒后，真空系統(tǒng)自動啟動，機(jī)械泵開始預(yù)抽真空。

   
   

3. 系統(tǒng)自檢：觸控屏顯示“系統(tǒng)初始化"，約2分鐘后進(jìn)入主界面，確認(rèn)真空狀態(tài)為“預(yù)抽中"（高真空模式需等待至“高真空就緒"，約5分鐘）。

   
   

1. 打開樣品倉門：按下艙門解鎖按鈕（紅色），向外拉出樣品倉。

   
   

2. 固定樣品：使用標(biāo)準(zhǔn)樣品臺（直徑25mm），通過導(dǎo)電膠或碳帶將樣品粘牢（避免樣品脫落或移動）。若樣品過高（≤10mm），可調(diào)節(jié)樣品臺高度旋鈕至合適位置。

   
   

3. 關(guān)閉樣品倉：輕推樣品倉至鎖定位置，聽到“咔嗒"聲表示密封良好。

   
   

1. 選擇真空模式：非導(dǎo)電樣品（如聚合物）選“低真空"，導(dǎo)電樣品（如金屬）選“高真空"。

   
   

2. 調(diào)節(jié)加速電壓：初始建議10kV（低損傷），根據(jù)成像效果調(diào)整（如需更高分辨率，升至20-30kV）。

   
   

3. 聚焦與消像散：點(diǎn)擊“自動聚焦"按鈕，若效果不佳，手動調(diào)節(jié)焦距旋鈕；消像散器調(diào)至“自動"，優(yōu)化圖像銳度。

   
   

4. 選擇探測器：默認(rèn)SE模式，需成分分析時切換至BSE（選配）。

   
   

5. 圖像采集：點(diǎn)擊“拍照"保存JPEG或TIFF格式，支持連續(xù)拍攝（間隔1秒）。

   
   

1. 降低加速電壓至5kV，關(guān)閉燈絲電流（避免燈絲氧化）。

   
   

2. 退出成像軟件，關(guān)閉主機(jī)電源。

   
   

3. 待真空系統(tǒng)自動泄真空（約2分鐘），打開樣品倉取出樣品。

   
   

4. 清潔樣品倉：用無塵紙擦拭倉內(nèi)壁，避免樣品殘留污染下次實(shí)驗(yàn)。

   
   

• 樣品需干燥、無油污，避免污染真空腔（否則延長抽真空時間）。

  
  

• 高真空模式下，禁止直接放入未噴金的非導(dǎo)電樣品（易荷電導(dǎo)致圖像模糊）。

  
  

• 長期停機(jī)（超過1周）時，建議每周開機(jī)1次，維持真空系統(tǒng)活性。