Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽

產品簡介

Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽
Sensofar?S?neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測量模式于一體的三維光學輪廓儀，適用于實驗室研發(fā)和工業(yè)生產線的表面形貌檢測。

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更新時間：2025-10-23

廠商性質：代理商

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三維光學輪廓儀

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Sensofar?S?neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測量模式于一體的三維光學輪廓儀，適用于實驗室研發(fā)和工業(yè)生產線的表面形貌檢測。儀器采用垂直掃描干涉（VSI）技術，實現(xiàn)亞納米級的縱向分辨率（0.1?nm）和微米級的橫向分辨率（0.3?µm）。在共聚焦模式下，橫向分辨率可進一步提升至0.10?µm，能夠解析高數(shù)值孔徑（NA?0.95）物鏡下的細微結構。系統(tǒng)配備 125?mm?×?75?mm 的 XY 平臺，支持 4?–?12?英寸的樣品尺寸，便于大面積或大尺寸工件的快速定位與測量。高速掃描能力達 180?fps，單次全場掃描時間可控制在 3?秒以內，顯著提升批量檢測效率。整體設計采用工程塑料機身、金屬支撐結構和高品質光學玻璃光學元件，兼顧輕量化、抗沖擊和光學穩(wěn)定性。

Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽

共聚焦模式：利用高 NA 物鏡實現(xiàn) 0.10?µm 橫向分辨率，支持最高 86° 的傾斜角測量，適合金屬模具、陶瓷基板等陡坡表面的三維重建。
白光干涉模式：通過波長掃描與相干門控實現(xiàn)亞納米級縱向分辨率（0.1?nm），可對光學鏡片、薄膜等超光滑表面進行無接觸測量，且具備抗振動技術提升測量可靠性。
多焦面疊加（MFI）模式：在單次掃描中疊加多個焦平面，最大測量深度可達 8?mm，掃描速度保持在 3?mm/s，滿足大粗糙度或厚膜樣品的快速測量需求。
系統(tǒng)通過自適應光學引擎自動調節(jié)光源波長、入射角度和算法參數(shù)，實現(xiàn)模式間的智能切換，降低操作復雜度。

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