技術(shù)演進(jìn)

STM7系列延續(xù)了奧林巴斯50年測(cè)量顯微鏡研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，其UIS2光學(xué)系統(tǒng)較前代產(chǎn)品提升15%的透光率，配合主動(dòng)反射共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)，使Z軸測(cè)量精度達(dá)到0.1μm級(jí)。該技術(shù)已通過(guò)ILAC-MRA認(rèn)證，滿足ISO 17025實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)要求。

關(guān)鍵性能指標(biāo)

1. 重復(fù)性
   在20℃恒溫環(huán)境下，STM7-LF型號(hào)的XY軸重復(fù)測(cè)量誤差（10X物鏡），Z軸（50X物鏡），符合半導(dǎo)體行業(yè)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

2. 可追溯性
   每臺(tái)設(shè)備出廠前均經(jīng)過(guò)JCSS認(rèn)證機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)，提供包含測(cè)量不確定度評(píng)估的校準(zhǔn)證書(shū)。某汽車廠商通過(guò)該功能實(shí)現(xiàn)全球工廠測(cè)量數(shù)據(jù)互認(rèn)，減少跨區(qū)域質(zhì)檢爭(zhēng)議。

3. 兼容性
   支持導(dǎo)入DXF/CAD圖紙進(jìn)行比對(duì)測(cè)量，例如在檢測(cè)航空零件時(shí)，可直接將設(shè)計(jì)圖紙導(dǎo)入軟件，自動(dòng)計(jì)算實(shí)際尺寸與理論值的偏差。

型號(hào)選擇建議

• 小型電子廠：STM7-SF（50mm載物臺(tái)）搭配5×-100×物鏡，滿足SMT貼片元件檢測(cè)需求。

• 精密模具廠：STM7-MF（200mm載物臺(tái)）配置電動(dòng)載物臺(tái)與自動(dòng)測(cè)量軟件，實(shí)現(xiàn)模具型腔批量檢測(cè)。

• 半導(dǎo)體晶圓廠：STM7-LF（300mm載物臺(tái)）集成花崗巖基座與共聚焦聚焦系統(tǒng)，應(yīng)對(duì)12英寸晶圓檢測(cè)挑戰(zhàn)。