澤攸臺(tái)階儀：納米級(jí)形貌測量的創(chuàng)新之選

在半導(dǎo)體制造、新材料研發(fā)與生物醫(yī)療領(lǐng)域，微觀表面形貌的精準(zhǔn)量化是推動(dòng)技術(shù)迭代的核心要素。澤攸科技憑借多年技術(shù)沉淀，推出JS系列臺(tái)階儀，以模塊化設(shè)計(jì)與自主創(chuàng)新技術(shù)，為科研與工業(yè)用戶提供高適應(yīng)性的形貌測量解決方案。

產(chǎn)品系列與核心參數(shù)

JS系列涵蓋JS100B、JS200B、JS300B及全自動(dòng)型號(hào)JS2000B，適配不同場景需求：

• 型號(hào)對(duì)比：

性能亮點(diǎn)：從硬件到算法的協(xié)同優(yōu)化

1. 雙LVDT傳感器技術(shù)
   澤攸臺(tái)階儀采用自主研發(fā)的直立式雙LVDT傳感器，突破傳統(tǒng)杠桿式結(jié)構(gòu)局限。傳感器1實(shí)時(shí)監(jiān)測探針壓力（恒力范圍0.5-50mg），傳感器2反饋壓電陶瓷位移，實(shí)現(xiàn)“所測即所得"的線性測量，避免圓弧補(bǔ)償誤差。在鈣鈦礦薄膜厚度測量中，該技術(shù)可將35-40nm超薄層的重復(fù)性偏差控制在0.5nm以內(nèi)。

2. 超平掃描臺(tái)與動(dòng)態(tài)調(diào)焦
   配備納米光柵反饋系統(tǒng)與超光滑平晶導(dǎo)軌，掃描平整度達(dá)20nm/2mm，支持55mm長距離掃描。JS2000B型號(hào)集成正視/側(cè)視高像素相機(jī)，結(jié)合主動(dòng)聚焦技術(shù)，可在掃描前快速定位樣品測試點(diǎn)，避免離焦導(dǎo)致的邊緣失真，尤其適用于柔性電子器件的曲面掃描。

3. 多場景探針配置
   提供標(biāo)準(zhǔn)探針（曲率半徑>2μm）與亞微米探針（曲率半徑<1μm）兩種選擇。在MEMS陀螺儀表面波紋測量中，亞微米探針可捕捉曲率半徑≤1μm的微觀結(jié)構(gòu)，同時(shí)通過動(dòng)態(tài)力控避免損傷樣品。

澤攸臺(tái)階儀：納米級(jí)形貌測量的創(chuàng)新之選