對(duì)于接觸掃描電鏡的用戶而言，復(fù)雜的操作流程往往成為技術(shù)應(yīng)用的障礙。澤攸科技ZEM15C臺(tái)式電鏡通過智能化設(shè)計(jì)與詳細(xì)指南，幫助用戶快速掌握成像技巧。

開箱檢查與環(huán)境準(zhǔn)備

1. 設(shè)備驗(yàn)收：檢查主機(jī)、樣品臺(tái)、備用燈絲與工具包是否齊全。

2. 環(huán)境要求：選擇溫度20℃±5℃、濕度低于60%的實(shí)驗(yàn)室，避免陽光直射與強(qiáng)電磁干擾。

3. 安裝步驟：將設(shè)備放置于穩(wěn)固實(shí)驗(yàn)臺(tái)，連接電源線與接地線，插入真空泵油管。

成像操作十步法

1. 開機(jī)預(yù)熱：按下電源鍵后，等待控制器自檢完成（約5分鐘）。

2. 樣品固定：用導(dǎo)電膠將樣品粘貼于樣品臺(tái)，避免遮擋探測(cè)器視線。

3. 抽真空：關(guān)閉樣品室門，點(diǎn)擊“抽真空"按鈕，觀察真空度降至0.01Pa以下。

4. 電壓設(shè)置：根據(jù)樣品導(dǎo)電性選擇5kV（弱導(dǎo)電）或15kV（強(qiáng)導(dǎo)電）。

5. 光斑調(diào)整：將“光斑直徑"調(diào)至“中"，勾選“自適應(yīng)"以優(yōu)化亮度對(duì)比度。

6. 聚焦消像散：粗調(diào)聚焦旋鈕使圖像清晰，切換至“消像散"模式消除橢圓畸變。

7. 倍數(shù)調(diào)整：逐步放大至目標(biāo)倍數(shù)（如10,000x），避免直接跳至高倍導(dǎo)致圖像模糊。

8. 圖像采集：選擇“連續(xù)采集"模式，設(shè)置幀數(shù)（16-64幀）與平均點(diǎn)數(shù)（4-8）以降低噪聲。

9. 數(shù)據(jù)保存：將圖像導(dǎo)出為TIFF或BMP格式，記錄實(shí)驗(yàn)參數(shù)與樣品信息。

10. 關(guān)機(jī)流程：先關(guān)閉高壓電源，待真空度回升后打開樣品室，取出樣品。

常見問題解決方案

• 圖像模糊：檢查樣品是否平整，或調(diào)整工作距離（建議5mm-10mm）。

• 真空故障：清理樣品室灰塵，檢查真空泵油是否乳化。

• 電子束偏移：重新執(zhí)行“光闌對(duì)中"校準(zhǔn)程序。

維護(hù)與保養(yǎng)周期

• 每日：清理樣品室與電子槍窗口灰塵。

• 每周：檢查真空泵油位，補(bǔ)充至刻度線以上。

• 每月：用異丙醇擦拭樣品臺(tái)導(dǎo)軌，涂抹潤滑脂。

• 每季度：聯(lián)系廠家進(jìn)行電子光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)。

通過標(biāo)準(zhǔn)化操作流程與預(yù)防性維護(hù)，ZEM15C可長期保持優(yōu)良成像狀態(tài)，為用戶提供穩(wěn)定可靠的微觀分析支持。