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隨著半導(dǎo)體、光刻、星載成像系統(tǒng)、消費(fèi)電子、國防等行業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)計(jì)量應(yīng)用的精度、穩(wěn)定性和效率提出了的嚴(yán)苛要求。傳統(tǒng)干涉儀在面對(duì)這些高難度場(chǎng)景時(shí)，往往在噪聲控制、對(duì)焦精度、變焦穩(wěn)定性等方面美國ZYGO共聚焦激光干涉儀存在不足。為了滿足行業(yè)需求，美國 ZYGO 公司于 2024 年推出了 Qualifire™激光干涉儀，旨在為挑戰(zhàn)性的計(jì)量任務(wù)提供的解決方案。

美國ZYGO激光干涉儀ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI激光干涉儀系列的大部分優(yōu)點(diǎn)，融合了機(jī)械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動(dòng)補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等。 Zygo最新推出用于在震動(dòng)環(huán)境下測(cè)量的DynaFiz干涉儀。

美國ZYGO 激光干涉儀ZYGO新型Verifire HDX激光干涉儀是為超高精度的光學(xué)元件和系統(tǒng)設(shè)計(jì)和制造的，可以獲得元件表面的中頻特征信息。

美國ZYGO激光干涉儀DynaFiz 激光干涉儀:在空氣湍流和極*振動(dòng)的環(huán)境下進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量 ;DynaFiz 激光干涉儀優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)提供了清晰可見的中間空間頻率特征 ;LivePhase™ 軟件可以進(jìn)行實(shí)時(shí)Zernike分析 ;Movie模式獲取隨時(shí)間變化的波前 ;DynaFiz 激光干涉儀 高功率，長壽命穩(wěn)頻氦氖激光器。

美國ZYGO激光干涉儀Verifire™ MST激光干涉儀可以進(jìn)行三個(gè)甚至四個(gè)平行面的測(cè)量，不僅可以顯示所有的面，并且可以排除其他的面而單獨(dú)顯示你所需要的面。