S neox 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：細(xì)節(jié)里的測量保障

更新時間：2025-09-24

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S neox 采用臺式一體化設(shè)計，尺寸約 600mm×500mm×750mm，重量控制在 70kg 以內(nèi)，普通操作臺即可放置，節(jié)省空間。機身外殼選用高強度鋁合金，經(jīng)陽極氧化處理，兼具抗腐蝕與防光反射能力，減少環(huán)境對光學(xué)系統(tǒng)的干擾。核心光學(xué)系統(tǒng)密封在防塵防霧艙內(nèi)，避免灰塵水汽影響成像質(zhì)量，鏡頭接口標(biāo)準(zhǔn)化，兼容六種常用物鏡，更換無需復(fù)雜校準(zhǔn)。

樣品臺為設(shè)備關(guān)鍵結(jié)構(gòu)之一，采用精密滾珠導(dǎo)軌，表面覆蓋耐磨涂層，移動順滑且長期保持精度。其 X、Y 軸移動范圍均為 100mm，Z 軸 50mm，搭配高精度光柵尺，移動精度達 0.1μm，可承載從 5mm 微型鏡片到 80mm 半導(dǎo)體晶圓的多樣樣品。以下為核心參數(shù)表：

參數(shù)類別	具體參數(shù)
測量技術(shù)	共聚焦顯微鏡 + 白光干涉技術(shù)
橫向分辨率	0.12μm（100x 物鏡）
縱向分辨率	0.1nm（白光干涉模式）
掃描深度	單次最大 8mm（多焦面疊加模式）
樣品臺承重	20kg
樣品臺移動精度	0.1μm（XYZ 軸）
傳感器幀率	180 幀 / 秒

軟件方面，SensoSCAN 內(nèi)置 ISO 4287、ISO 12781-2 等標(biāo)準(zhǔn)算法，確保數(shù)據(jù)通用性。支持 PDF、Excel 等多種格式導(dǎo)出，方便存檔分享。

S neox 通過豐富的輔助設(shè)備與軟件適配，滿足不同樣品與場景需求。輔助夾具涵蓋多類專用型號：真空吸附夾具通過 - 0.1MPa 至 0MPa 可調(diào)負(fù)壓，平整固定薄膜、紡織品等柔性樣品，避免褶皺影響檢測；顯微定位夾具借助精密旋鈕與光學(xué)對準(zhǔn)裝置，實現(xiàn) 5μm 精度定位，適配 MEMS 器件、微型齒輪等微小樣品。

針對特殊樣品，無菌夾具支持紫外線消毒，適配人工皮膚等生物樣品檢測；旋轉(zhuǎn)式夾具轉(zhuǎn)速 0-10r/min，可檢測圓柱類工件表面形貌。批量場景中，設(shè)備可聯(lián)動自動化上下料模塊，通過機械臂完成樣品傳送與分類，每小時檢測量達 80-120 個，無需人工干預(yù)。搭配環(huán)境控制艙時，能將溫度波動控制在 ±0.3℃，濕度波動 ±1%，保障光學(xué)晶體等敏感樣品的檢測穩(wěn)定性。

軟件適配能力同樣突出，15 英寸高清觸控屏支持直接操作常用功能，界面含中文、英文等多語言選項。內(nèi)置 30 + 行業(yè)模板，覆蓋半導(dǎo)體、汽車等領(lǐng)域，用戶可保存 100 + 自定義模板，重復(fù)檢測時直接調(diào)用?！皺z測向?qū)? 模塊提供分步指引，如半導(dǎo)體金線檢測時，會提示固定、對焦、掃描等步驟及注意事項，降低操作失誤率。設(shè)備還支持遠(yuǎn)程升級與故障診斷，進一步提升使用便利性。